Микросхемы ПЗУ по способу программирования подразделяются на три группы:
В масочные ПЗУ данные заносятся при изготовлении микросхем с помощью маски (шаблона) на завершающем этапе технологического процесса. Пользователь не может изменить содержимое памяти (РЕ) .
Микросхемы программируемых ПЗУ по принципу построения и функционирования аналогичны масочным, но имеют существенное отличие в том. что допускают программирование на месте своего применения пользователем. Операция программирования заключается в разрушении части плавких перемычек на поверхности кристалла импульсами тока (РТ).
Основная отличительная особенность микросхем репрограммируемых ПЗУ (РПЗУ) заключается в их особенности к многократному (от 10 до нескольких тысяч) перепрограммированию самим пользователем. Микросхемы РПЗУ можно разбить на две группы: с записью и стиранием электрическими сигналами (РР) и РПЗУ с записью электрическими сигналами и стиранием УФ-излучением (РФ).