573РФ5
Репрограммируемое ПЗУ с УФ-стиранием. Информационная емкость 16 Кбит, организация 2К*8. Число циклов перепрограммирования, в отличие от 573РФ2, всего 25.
КС573РФ5 в корпусе из коричневой керамики .
К573РФ5 в корпусе из фиолетовой керамики. Керамику такого цвета советская промышленность не выпускала. Кварцевое стекло частично покрыто металлизацией.
КР573РФ5 в пластиковом корпусе. Производитель — киевский «Квазар».
КР573РФ5 в пластиковом корпусе. Производитель — «Квадр» г. Борзна.