Микросхемы представляют собой перепрограммируемое постоянное запоминающее устройство емкостью 64 кбит (4096×16) у К573РФ3, К573РФ3А, К573РФ3Б; емкостью 32 Кбит (2048×16) у К573РФ31, К573РФ31А, К573РФ31Б, К573РФ32, К573РФ32А, К573РФ32Б; емкостью 16 Кбит (1024×16) у К573РФ33, К573РФ34, с ультрафиолетовым стиранием и электрической записью информации.
В состав ИС входят входные усилители; адресные регистры, блок формирования сигнала синхронизации; блок формирования сигнала выборки микросхемы; дешифраторы; блок управления выходными сигналами, матрицы ППЗУ, разрядные формирователи, усилители входных и выходных сигналов и выходной регистр. Предназначены для построения блоков памяти микро-ЭВМ. Входы и выходы в ИС совмещены, поэтому передача данных осуществляется в мультиплексном режиме. Три старших разряда используются для программирования кода микросхем, что обеспечивает выборку одной из 8 микросхем на общую магистраль без дополнительного дешифратора. В ИС используются 4 управляющих сигнала: «обмен» (обеспечивает запись адреса в входной регистр; «чтение-программирование» (определяет режим работы); «разрешение чтения» (используется для выдачи считанной информации на общую магистраль при наличии сигнала «обмен»); «ответ» (сопровождает информацию, поступающую из РПЗУ на общую магистраль).
Выполнены по n-МОП технологии. К573РФ3 содержит 140 000 интегральных элементов; К573РФ31, К573РФ32 — 70 000, К573РФ33, К573РФ34 — 40 000. У К573РФ31 вывод 17 не используется и соединен с выводом 24; у К573РФ32 вывод 17 не используется и соединен с выводом 12; у К573РФ33 выводы 11 и 17 не используются и соединены с выводом 24; у К573РФ34 выводы 11 и 17 не используются и соединены с выводом 12.