110 СЕРИЯ МИКРОСХЕМ

 110-я серия это первые в СССР полупроводниковые интегральные микросхемы.  Микросхемы резисторно-конденсаторной транзисторной логики изготовлены на основе планарной технологии, разработанной в НИИ-35 (затем переименованный в НИИ «Пульсар»).

 В 1961 г. Fairchild Semiconductor  запатентовала технологию изготовления интегральных схем (ИС),  которая в дальнейшем произвела в электронной отрасли настоящую техническую революцию. Центральная идея этой технологии, называемой «планарной» (в математике «планарность» означает геометрический образ, который можно нарисовать на плоскости без пересечения линий), состоит в том, что проект ИС первоначально представляется в виде комплекта рисунков. Затем эти рисунки последовательно «переводятся» в кристалл полупроводникового материала  с помощью различных физико-химических процессов: эпитаксиального выращивания тонких плёнок металлов и полупроводников, их травление, введение легирующих примесей и т.д. При изготовлении полупроводниковых микросхем требуется неоднократное проведение фотолитографического процесса с воспроизведением на исходной пластине монокристаллического кремния совмещающихся между собой различных рисунков (фотошаблонов). Элементы будущей ИС создаются посредством легирования, то есть внедрения  в исходную пластину различных примесей и их распределения  по требуемому объему. Основным методом легирования является диффузия парами гидрида фосфора, мышьяка или бора при температуре 1100-1200 ^oС. Точность поддержания температуры, постоянство концентрации примеси у поверхности пластины, длительность процесса отжига определяют распределение примеси по толщине пластины и соответственно точные параметры формируемых элементов.

В октябре 1961 году фирма Texas Instruments анонсировала создание планарных интегральных микросхем серии SN-51, а с 1962 года начала их серийное производство. Изначально в серии было выпущено 6 микросхем SN510-SN515. Производственные образцы микросхем TI для воспроизводства электронной промышленностью СССР были получены из США. Разработка включала шесть типовых интегральных кремниевых планарных схем серии ТС-100 (впоследствии ставшей 110 серией) и с организацией опытного производства заняла в НИИ-35 три года (с 1962 по 1965 год). Ещё два года ушло на освоение заводского производства во Фрязино на заводе «Электронприбор» (1967 год).